RF DIODE SPUTTERED PLATINUM FILMS

被引:12
作者
MURARKA, SP [1 ]
机构
[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(74)90016-9
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:323 / 336
页数:14
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