HEAT-TRANSFER IN SILICON CZOCHRALSKI CRYSTAL-GROWTH

被引：40

作者：

WILLIAMS, G ^{[1
]}

REUSSER, RE ^{[1
]}

机构：

[1] WESTERN ELECT CO INC,ALLENTOWN WORKS,ALLENTOWN,PA 18103

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(83)90328-7

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：448 / 460

页数：13

共 17 条

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