BARRIER DIFFUSION AND OPTICAL-PROPERTIES OF THE AU-AL2O3-AL THIN-FILM SYSTEM

被引:10
作者
CHANG, CC [1 ]
CALLCOTT, TA [1 ]
ARAKAWA, ET [1 ]
机构
[1] OAK RIDGE NATL LAB, OAK RIDGE, TN 37831 USA
关键词
D O I
10.1103/PhysRevB.32.6138
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:6138 / 6144
页数:7
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