CALIBRATION OF THE ELECTRICAL RESPONSE OF PIEZOELECTRIC ELEMENTS AT LOW-VOLTAGE USING LASER INTERFEROMETRY

被引：19

作者：

RIIS, E ^{[1
]}

SIMONSEN, H ^{[1
]}

WORM, T ^{[1
]}

NIELSEN, U ^{[1
]}

BESENBACHER, F ^{[1
]}

机构：

[1] AARHUS UNIV,INST PHYS,DK-8000 AARHUS C,DENMARK

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1989年 / 54卷 / 25期

关键词：

D O I：

10.1063/1.101064

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：2530 / 2531

页数：2

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共 11 条

[11] THE BEHAVIOR AND CALIBRATION OF SOME PIEZOELECTRIC CERAMICS USED IN THE STM [J].

VIEIRA, S .

IBM JOURNAL OF RESEARCH AND DEVELOPMENT, 1986, 30 (05) :553-556