LOW-PRESSURE SPUTTERED GERMANIUM FILMS

被引:12
作者
WOLSKY, SP
PIWKOWSK.TR
WALLIS, G
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1965年 / 2卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.1492410
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:97 / &
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