COMPENSATION IN EPITAXIAL CUBIC SIC FILMS

被引:50
作者
SEGALL, B [1 ]
ALTEROVITZ, SA [1 ]
HAUGLAND, EJ [1 ]
MATUS, LG [1 ]
机构
[1] NASA, LEWIS RES CTR, CLEVELAND, OH 44135 USA
关键词
D O I
10.1063/1.97048
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:584 / 586
页数:3
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