STRESS-INDUCED ANISOTROPY IN ELECTRICAL PROPERTIES OF SI-AL2O3

被引:18
作者
HUGHES, AJ [1 ]
机构
[1] ROCKWELL INT CORP,3370 MIRALOMA AVE,ANAHEIM,CA 92803
关键词
D O I
10.1063/1.322030
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2849 / 2863
页数:15
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