REGROWTH KINETICS OF AMORPHOUS-GE LAYERS CREATED BY GE-74 AND SI-28 IMPLANTATION OF GE CRYSTALS

被引:134
作者
CSEPREGI, L
KULLEN, RP
MAYER, JW
SIGMON, TW
机构
[1] CALTECH,PASADENA,CA 91125
[2] OREGON STATE UNIV,CORVALLIS,OR 97331
关键词
D O I
10.1016/0038-1098(77)90009-6
中图分类号
O469 [凝聚态物理学];
学科分类号
070205 ;
摘要
引用
收藏
页码:1019 / 1021
页数:3
相关论文
共 8 条