GAS-PHASE KINETICS DURING DIAMOND GROWTH - CH4 AS-GROWTH SPECIES

被引：72

作者：

HARRIS, SJ

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1989年 / 65卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1063/1.342696

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：3044 / 3048

页数：5

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共 32 条

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