共 13 条
- [11] ROUBEROL JM, 1968, 5 P INT C XRAY OPT M
- [12] SERAN JL, 1974, 7 P INT C XRAY OPT M
- [13] CHARACTERIZATION OF SILICON NITRIDE FILMS[J]. JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1971, 118 (08) : 1341 - &TAFT, EA
ION PROBE TECHNIQUE FOR STUDY OF GALLIUM DIFFUSION IN SILICON-NITRIDE FILMS
被引：17
作者：
LODDING, A
[1
]
LUNDKVIST, L
[1
]
机构：
[1] CHALMERS UNIV TECHNOL,MAT SCI CTR,40220 GOTHENBURG 5,SWEDEN
关键词：
D O I：
10.1016/0040-6090(75)90067-X
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
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页数：10
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