ON THE SUPPLY AND MEASUREMENT OF POWER IN MICROWAVE INDUCED PLASMAS

被引:16
作者
HUBERT, J [1 ]
MOISAN, M [1 ]
ZAKRZEWSKI, Z [1 ]
机构
[1] UNIV MONTREAL,DEPT PHYS,MONTREAL H3C 3J7,QUEBEC,CANADA
关键词
D O I
10.1016/0584-8547(86)80160-4
中图分类号
O433 [光谱学];
学科分类号
0703 ; 070302 ;
摘要
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页码:205 / 215
页数:11
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