SOFT-X-RAY REDUCTION LITHOGRAPHY USING MULTILAYER MIRRORS

被引：250

作者：

KINOSHITA, H

KURIHARA, K

ISHII, Y

TORII, Y

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.584507

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1648 / 1651

页数：4

共 8 条

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