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EFFECT OF HYDROGEN DILUTION OF SILANE IN HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON FILMS PREPARED BY PHOTOCHEMICAL VAPOR-DEPOSITION
被引:9
作者
:
KAMIMURA, T
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0
KAMIMURA, T
HIROSE, M
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HIROSE, M
机构
:
来源
:
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS
|
1986年
/ 25卷
/ 12期
关键词
:
D O I
:
10.1143/JJAP.25.1778
中图分类号
:
O59 [应用物理学];
学科分类号
:
摘要
:
引用
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页码:1778 / 1782
页数:5
相关论文
共 12 条
[11]
SWANSON, 1953, NBS539 CIRC, V2, P6
[12]
A STUDY OF HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON DEPOSITED BY RF GLOW-DISCHARGE IN SILANE-HYDROGEN MIXTURES
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RAJESWARAN, G
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RAJESWARAN, G
[J].
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1984,
56
(06)
: 1812
-
1820
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共 12 条
[11]
SWANSON, 1953, NBS539 CIRC, V2, P6
[12]
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VANIER, PE
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RAJESWARAN, G
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[J].
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1984,
56
(06)
: 1812
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