EPITAXIAL-GROWTH AND CHARACTERIZATION OF BETA-SIC THIN-FILMS

被引:196
作者
LIAW, P [1 ]
DAVIS, RF [1 ]
机构
[1] N CAROLINA STATE UNIV, DEPT MAT ENGN, RALEIGH, NC 27695 USA
关键词
D O I
10.1149/1.2113921
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页数:7
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