REACTION OF AI/MO THIN-FILMS

被引：14

作者：

KITADA, M

SHIMIZU, N

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1007/BF01120046

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：1339 / 1342

页数：4

共 5 条

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