REVIEW OF LIMITATIONS OF ALUMINUM THIN-FILMS ON SEMICONDUCTOR-DEVICES

被引:35
作者
PHILOFSKY, E [1 ]
HALL, EL [1 ]
机构
[1] MOTOROLA CORP,SEMICOND PROD DIV,MAT RES LAB,PHOENIX,AZ 85008
来源
IEEE TRANSACTIONS ON PARTS HYBRIDS AND PACKAGING | 1975年 / 11卷 / 04期
关键词
D O I
10.1109/TPHP.1975.1135077
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:281 / 290
页数:10
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