ION-IMPLANTATION INTO LINBO3

被引:72
作者
GOTZ, G
KARGE, H
机构
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1983年 / 209卷 / MAY期
关键词
D O I
10.1016/0167-5087(83)90923-7
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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页码:1079 / 1088
页数:10
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