ELECTRONIC EXCITATION OF TI ATOMS SPUTTERED BY ENERGETIC AR+ AND HE+ FROM CLEAN AND MONOLAYER OXYGEN COVERED SURFACES

被引:22
作者
PELLIN, MJ [1 ]
GRUEN, DM [1 ]
YOUNG, CE [1 ]
WIGGINS, MD [1 ]
机构
[1] ARGONNE NATL LAB,DIV CHEM,ARGONNE,IL 60439
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1983年 / 218卷 / 1-3期
关键词
D O I
10.1016/0167-5087(83)91080-3
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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页数:6
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