ETCHING OF DEEP GROOVES FOR THE PRECISE POSITIONING OF CLEAVES IN SEMICONDUCTOR-LASERS

被引:14
作者
BOWERS, JE [1 ]
HEMENWAY, BR [1 ]
WILT, DP [1 ]
机构
[1] AT&T BELL LABS,MURRAY HILL,NJ 07974
关键词
D O I
10.1063/1.95609
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:453 / 455
页数:3
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