THREADING DISLOCATIONS IN GAAS GROWN WITH FREE SIDEWALLS ON SI MESAS

被引:4
作者
KNALL, J [1 ]
ROMANO, LT [1 ]
KRUSOR, BS [1 ]
BIEGELSEN, DK [1 ]
BRINGANS, RD [1 ]
机构
[1] XEROX CORP,PALO ALTO RES CTR,PALO ALTO,CA 94304
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1994年 / 12卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.587562
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:3069 / 3074
页数:6
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