GOLD DIFFUSIVITIES IN SIO2 AND SI USING MOS STRUCTURE - (800 TO 1200 DEGREES C - IMPURITY EFFECTS - BULK VS SURFACE DIFFUSION - E/T)

被引:59
作者
COLLINS, DR
SCHRODER, DK
SAH, CT
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1754459
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:323 / &
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