EVALUATION OF SURFACE-ROUGHNESS OF METAL-FILMS BY TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY AND ELLIPSOMETRY

被引:3
作者
CHAN, EC
MARTON, JP
BROWN, JD
机构
[1] WELWYN CANADA LTD,LONDON,ONTARIO,CANADA
[2] UNIV WESTERN ONTARIO,FAC ENGN SCI,LONDON N6A 3K7,ONTARIO,CANADA
[3] MCMASTER UNIV,INST MAT RES,HAMILTON 16,ONTARIO,CANADA
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.569034
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:981 / 984
页数:4
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