EVALUATION OF SURFACE-ROUGHNESS OF METAL-FILMS BY TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY AND ELLIPSOMETRY

被引：3

作者：

CHAN, EC

MARTON, JP

BROWN, JD

机构：

[1] WELWYN CANADA LTD,LONDON,ONTARIO,CANADA

[2] UNIV WESTERN ONTARIO,FAC ENGN SCI,LONDON N6A 3K7,ONTARIO,CANADA

[3] MCMASTER UNIV,INST MAT RES,HAMILTON 16,ONTARIO,CANADA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569034

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：981 / 984

页数：4

共 4 条