共 21 条
COMPLEX-FORMATION AND GROWTH AT THE CR-POLYIMIDE AND CU-POLYIMIDE INTERFACE
被引:163
作者:
HAIGHT, R
WHITE, RC
SILVERMAN, BD
HO, PS
机构:
来源:
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
|
1988年
/
6卷
/
04期
关键词:
D O I:
10.1116/1.575010
中图分类号:
TB3 [工程材料学];
学科分类号:
0805 ;
080502 ;
摘要:
引用
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页码:2188 / 2199
页数:12
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