MICROMECHANICAL STRUCTURES FOR ELECTRON-BEAM AND ION-BEAM IRRADIATION PHENOMENA

被引：8

作者：

OGO, I

MACDONALD, NC

机构：

[1] CORNELL UNIV,SCH ELECT ENGN,ITHACA,NY 14853

[2] CORNELL UNIV,NATL NANOFABRICAT FACIL,ITHACA,NY 14853

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1994年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.587613

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页数：4