OPTICAL-EMISSION FROM NEON OXYGEN RF SPUTTERING GLOW-DISCHARGES

被引:26
作者
AITA, CR
MARHIC, ME
机构
[1] UNIV WISCONSIN,SURFACE STUDIES LAB,MILWAUKEE,WI 53201
[2] NORTHWESTERN UNIV,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,EVANSTON,IL 60201
[3] GOULD INC,ELECTR & ELECT RES LABS,ROLLING MEADOWS,IL 60008
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1983年 / 1卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.572312
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页数:5
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