SPUTTERING OF ERD2 - EXPERIMENT AND THEORY

被引：4

作者：

EERNISSE, EP ^{[1
]}

BRICE, DK ^{[1
]}

机构：

[1] SANDIA LABS,ALBUQUERQUE,NM 87115

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1976年 / 132卷 / JAN-F期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(76)90759-X

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：363 / 367

页数：5

共 7 条

[1]

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