EJECTION PROCESS IN COLLISIONAL SPUTTERING

被引：18

作者：

FALCONE, G

机构：

[1] CNR,UNITA COSENZA,NAZL STRUTTURA MAT,I-87036 ARCAVACATA RENDE,ITALY

[2] MINIST PUBBL ISTRUZIONE,CTR INTERUNIV STRUTTURA MAT,I-87036 ARCAVACATA RENDE,ITALY

来源：

PHYSICAL REVIEW B | 1986年 / 33卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1103/PhysRevB.33.5054

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页数：3