INFLUENCE OF SUBSTRATE BIAS ON THE COMPOSITION, STRUCTURE AND ELECTRICAL-PROPERTIES OF REACTIVELY DC-SPUTTERED TIN FILMS

被引:96
作者
POITEVIN, JM [1 ]
LEMPERIERE, G [1 ]
TARDY, J [1 ]
机构
[1] UNIV LYON 1,PHYS MAT LAB,CNRS LAB,F-69621 VILLEURBANNE,FRANCE
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(82)90418-7
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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