SIMPLE DEVICE FOR MEASURING BEAM CURRENT IN A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE

被引：1

作者：

HILL, BH

机构：

[1] Advanced Electronic Devices Branch, Air Force Avionics Laboratory, Wright Patterson Air Force Base

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1683675

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

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