SYNTHESIS AND MORPHOLOGY OF VARIOUS CARBIDES IN TA-C SYSTEM

被引:11
作者
GROSSKLAUSS, W [1 ]
BUNSHAH, RF [1 ]
机构
[1] UNIV CALIF,MAT DEPT,LOS ANGELES,CA 90024
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.568677
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:811 / 814
页数:4
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