NEW SEMI-AUGER MICROANALYZER WITH UHV CAPABILITY

被引:5
作者
ISHIDA, T [1 ]
UCHIYAMA, M [1 ]
ODA, Z [1 ]
HASHIMOTO, H [1 ]
机构
[1] NIPPON ELECT VARIAN LTD,TOKYO,JAPAN
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.568974
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:711 / 715
页数:5
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