SELF-CONFINED METALLIC INTERCONNECTS FOR VERY LARGE-SCALE INTEGRATION

被引：5

作者：

BARTUR, M

NICOLET, MA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.94692

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：263 / 264

页数：2

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