STRUCTURE AND MECHANICAL-PROPERTIES OF ION-PLATED THICK-FILMS

被引：20

作者：

ENOMOTO, Y ^{[1
]}

MATSUBARA, K ^{[1
]}

机构：

[1] MECH ENGN LAB,BASIC ENGN DIV,4-12-1 IGUSA,SUGINAMI,TOKYO,JAPAN

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568681

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：827 / 829

页数：3

共 9 条

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