FABRICATION OF LATERAL DOPING PROFILES BY A COMPUTER-CONTROLLED FOCUSED ION-BEAM

被引：6

作者：

SELIGER, RL ^{[1
]}

WARD, JW ^{[1
]}

机构：

[1] HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568546

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1378 / 1381

页数：4

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共 6 条

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