CARBON IN SILICON - PROPERTIES AND IMPACT ON DEVICES

被引:114
作者
KOLBESEN, BO [1 ]
MUHLBAUER, A [1 ]
机构
[1] SIEMENS AG,UNTERNEHMENSBEREICH BAUELEMENTE,SILIZIUMMAT ENTWICKLUNG,D-8000 MUNCHEN 46,FED REP GER
关键词
D O I
10.1016/0038-1101(82)90206-4
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:759 / 775
页数:17
相关论文
共 56 条