THIN-FILM TRANSISTORS FOR LARGE AREA ELECTRONICS

被引:38
作者
THOMPSON, MJ
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1984年 / 2卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.582902
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:827 / 834
页数:8
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