ANNEALING OF IRRADIATED SILICON CONTAINING PHOSPHORUS ATOMS

被引:3
作者
HIRATA, M
HIRATA, M
SAITO, H
CRAWFORD, JH
机构
关键词
D O I
10.1143/JPSJ.22.1301
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
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页码:1301 / &
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