ION-IMPLANTATION INTO FUSED QUARTZ FOR INTEGRATED OPTICAL CIRCUITS

被引:10
作者
KERSTEN, RT [1 ]
BOROFFKA, H [1 ]
机构
[1] SIEMENS AG,RES LABS,D-8000 MUNICH 70,FED REP GER
关键词
D O I
10.1016/0030-4018(76)90193-0
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
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页数:5
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