MODELING ION-BEAM MILLING

被引：15

作者：

YOUNGNER, DW

HAYNES, CM

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 21卷 / 02期

关键词：

Compendex;

D O I：

10.1116/1.571812

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

Integrated circuit manufacture

引用

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页码：677 / 680

页数：4

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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1975, 12 (03) :677-688

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