SEPARATION OF LINEAR AND PARABOLIC TERMS IN STEAM OXIDATION OF SILICON

被引:75
作者
PLISKIN, WA
机构
关键词
D O I
10.1147/rd.103.0198
中图分类号
TP3 [计算技术、计算机技术];
学科分类号
0812 ;
摘要
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页码:198 / &
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