HALL EFFECT MEASUREMENT OF RADIATION DAMAGE + ANNEALING IN SI

被引:31
作者
TANAKA, T
INUISHI, Y
机构
关键词
D O I
10.1143/JPSJ.19.167
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
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页码:167 / &
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