HOT-ELECTRON TRAPPING IN THIN LPCVD SIO2 DIELECTRICS

被引:14
作者
KAWAMOTO, GH
MAGYAR, GR
YAU, LD
机构
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1987.23334
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:2450 / 2455
页数:6
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