A TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY STUDY OF RF-MAGNETRON-SPUTTERED AND DC-MAGNETRON-SPUTTERED THIN-FILM CHROMIUM AND CHROMIUM PLATINUM COATINGS

被引：4

作者：

FISHKIS, MR ^{[1
]}

SISSON, RD ^{[1
]}

BIEDERMAN, RR ^{[1
]}

机构：

[1] WORCESTER POLYTECH INST,WORCESTER,MA 01609

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1985年 / 3卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.572800

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：2623 / 2626

页数：4

共 5 条

BIRJEGA, MI ;

CONSTANTIN, CA ;

FLORESCU, IT ;

SARBU, C .

BUENE, L ;

FALKENBERGARELL, H ;

TAFTO, J .

BUENE, L ;

FALKENBERGARELL, H ;

GJONNES, J ;

TAFTO, J .

IMURA, T .

[5]

THORNTON JA, 1982, DEPOSITION TECHNOLOG, P212