EBES - PRACTICAL ELECTRON LITHOGRAPHIC SYSTEM

被引：126

作者：

HERRIOTT, DR ^{[1
]}

COLLIER, RJ ^{[1
]}

ALLES, DS ^{[1
]}

STAFFORD, JW ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES | 1975年 / ED22卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1975.18149

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：385 / 392

页数：8

共 20 条

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