CORRECTION FACTOR FOR RESISTIVITY AND HALL-MOBILITY MEASUREMENT OF 2-LAYER STRUCTURES BY SPREADING RESISTANCE TECHNIQUES

被引:8
作者
GUTAI, L [1 ]
VICSEK, T [1 ]
机构
[1] HUNGARIAN ACAD SCI,RES INST TECH PHYS,UJPEST 1 PF 76,BUDAPEST,HUNGARY
关键词
D O I
10.1016/0038-1101(75)90075-1
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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