DIFFUSION MASKING OF SILICON NITRIDE AND SILICON OXYNITRIDE FILMS ON SI

被引:25
作者
HEUMANN, FK
BROWN, DM
METS, E
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2411034
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:99 / &
相关论文
共 5 条