MICROSCOPIC THEORY OF ATOMIC DIFFUSION MECHANISMS IN SILICON

被引:264
作者
CAR, R [1 ]
KELLY, PJ [1 ]
OSHIYAMA, A [1 ]
PANTELIDES, ST [1 ]
机构
[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
关键词
D O I
10.1103/PhysRevLett.52.1814
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
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页码:1814 / 1817
页数:4
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