LASER CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF GOLD .2.

被引:61
作者
BAUM, TH [1 ]
JONES, CR [1 ]
机构
[1] IBM CORP,DIV GEN TECHNOL,ENDICOTT,NY 13760
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1986年 / 4卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.583481
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:1187 / 1191
页数:5
相关论文
共 11 条