EXACT SOLUTION OF DILLS MODEL-EQUATIONS FOR POSITIVE PHOTORESIST KINETICS

被引：34

作者：

BABU, SV ^{[1
]}

BAROUCH, E ^{[1
]}

机构：

[1] CLARKSON UNIV,DEPT MATH & COMP SCI,POTSDAM,NY 13676

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1986.26362

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：252 / 253

页数：2

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共 5 条

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