共 21 条
CHARACTERIZATION OF IMPLANTATION AND ANNEALING OF ZN-IMPLANTED INP BY RAMAN-SPECTROMETRY
被引:37
作者:
BEDEL, E
[1
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LANDA, G
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CARLES, R
[1
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RENUCCI, JB
[1
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ROQUAIS, JM
[1
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FAVENNEC, PN
[1
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机构:
[1] CTR NATL ETUD TELECOMMUN,F-22301 LANNION,FRANCE
关键词:
D O I:
10.1063/1.337199
中图分类号:
O59 [应用物理学];
学科分类号:
摘要:
引用
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页码:1980 / 1984
页数:5
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